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アクティブ軸
θ X、θY
統合センサー
SGS
先端/傾斜角度、閉ループ (0～120Vでの静的動作)
±17.5μrad
解像度、開ループ
0.1μrad
解像度、閉ループ
1.0μrad
直線性誤差
0.05% (一方向)
再現性
1μrad (双方向)
共振周波数、無負荷
2kHz
共振周波数、負荷時、Ø12.5mm×3mm石英ガラスミラー付
1.6kHz
共振周波数、負荷時、Ø25.4mm×4mm石英ガラスミラー付
0.7kHz
ピボットポイントとプラットフォーム表面の間のギャップ
3.3mm
セラミックタイプ
PICMA® P-885
軸あたりの電気容量
6.2μF
使用温度範囲
-20~80℃
マテリアルプラットフォーム
チタン
ケーブルの長さ
2m
センサー/電圧接続
D-sub37(オス)
推奨電子機器
E-727
型番
S-335.2SH取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 統合センサー | 先端/傾斜角度、閉ループ (0～120Vでの静的動作) | 解像度、開ループ | 解像度、閉ループ | 直線性誤差 | 再現性 | 共振周波数、無負荷 | 共振周波数、負荷時、Ø12.5mm×3mm石英ガラスミラー付 | 共振周波数、負荷時、Ø25.4mm×4mm石英ガラスミラー付 | ピボットポイントとプラットフォーム表面の間のギャップ | セラミックタイプ | 軸あたりの電気容量 | 使用温度範囲 | マテリアルプラットフォーム | 質量 (ケーブル、コネクタ含む) | ケーブルの長さ | センサー/電圧接続 | 推奨電子機器 |
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要見積もり | θ X、θY | SGS | ±17.5μrad | 0.1μrad | 1.0μrad | 0.05% (一方向) | 1μrad (双方向) |
2kHz |
1.6kHz | 0.7kHz | 3.3mm | PICMA® P-885 | 6.2μF |
-20~80℃ |
チタン | 320g | 2m | D-sub37(オス) | E-727 |
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