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精密な位置決め RS-40 V7 真空対応コンパクト回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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アクティブ軸

θZ

回転範囲θZ

360°

最大角速度 (θZ、無負荷時)

20°/秒

θZの動きによる X の線形クロストーク

±5μm

θZの動きによるYの線形クロストーク

±5μm

θZの動きによるZの線形クロストーク

±5μm

θZの動きによるθXの回転クロストーク

±35μrad

θZの動きによるθYの回転クロストーク

±35μrad

θZにおける一方向の繰り返し精度

87μrad

θZの双方向繰返し精度

±700μrad

θZの最小増分運動

87μrad

基準スイッチ

ホール効果、N/C接点、3.8V~24V、NPN

ドライブタイプ

2相ステッピングモーター

モーターの分解能

200フルステップ/回転

公称電圧

24V

ピーク電圧

48V

θZで時計回りの駆動トルク

0.2N・m

駆動トルクθZ反時計回り

0.2N・m

ベアリングの種類

ボールベアリング

ウォームギヤ減速機

90:1

θZでの保持トルク、パッシブ

0.2N・m

X内の質量を移動、アンロード

90g

慣性モーメント (θZ、無負荷)

15.5kg・mm²

Y方向の許容押付け力

5N

Z方向の許容押付け力

20N

許容トルク (θx)

2N・m

許容トルク (θY)

2N・m

全体の質量

400g

材料

アルミニウム、ステンレス、レッドブロンズ

使用温度範囲

5~40℃

この製品について

■特徴

10 -7hPaまでの真空対応 ・無制限の走行範囲 ・87µradまでの再現性 ・20mmØ口径 ・基準スイッチ

■スタンダードクラスの回転ステージ

・ワームドライブ。 ・口径20mmØ。 ・リファレンススイッチ。

■特に真空環境での使用向けにアウトガスを低減

最も注目すべき点は、ガイドとスピンドルの潤滑に、ガス放出が特に少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。

■高真空用途向けの高品質

この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊な部品が使用されます。また、表面はノンコートアルミニウム製、スピンドルとガイドはステンレス製です。これにより、PI V7真空クラス、つまり最大10-7hPaに達します。

■ドライブ

ギヤヘッド付きステッピングモーター。

■応用分野

真空チャンバー・研究・ビームライン機器・顕微鏡検査・電子機器の組み立てと検査

  • 型番

    3216V21000

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精密な位置決め RS-40 V7 真空対応コンパクト回転ステージ 3216V21000の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ 最大角速度 (θZ、無負荷時) θZの動きによる X の線形クロストーク θZの動きによるYの線形クロストーク θZの動きによるZの線形クロストーク θZの動きによるθXの回転クロストーク θZの動きによるθYの回転クロストーク θZにおける一方向の繰り返し精度 θZの双方向繰返し精度 θZの最小増分運動 基準スイッチ ドライブタイプ モーターの分解能 公称電圧 ピーク電圧 θZで時計回りの駆動トルク 駆動トルクθZ反時計回り ベアリングの種類 ウォームギヤ減速機 θZでの保持トルク、パッシブ X内の質量を移動、アンロード 慣性モーメント (θZ、無負荷) Y方向の許容押付け力 Z方向の許容押付け力 許容トルク (θx) 許容トルク (θY) 全体の質量 材料 使用温度範囲
精密な位置決め RS-40 V7 真空対応コンパクト回転ステージ-品番-3216V21000 要見積もり θZ 360° 20°/秒 ±5μm ±5μm ±5μm ±35μrad ±35μrad 87μrad ±700μrad 87μrad ホール効果、N/C接点、3.8V~24V、NPN 2相ステッピングモーター 200フルステップ/回転 24V 48V 0.2N・m 0.2N・m ボールベアリング 90:1 0.2N・m 90g 15.5kg・mm² 5N 20N 2N・m 2N・m 400g アルミニウム、ステンレス、レッドブロンズ 5~40℃

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回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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