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A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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返答時間

26.5時間

返信の比較的早い企業

全型番で同じ値の指標

移動範囲

無制限、>360°

モーションプラットフォームの直径 (mm)

365

偏執 (nm)

300

平ら (nm)

175

ぐらつく (μrad)

1

負荷容量、軸方向 (N)

770

耐荷重、ラジアル (N)

190

負荷トルク、MX,Y (Nm)

36

慣性モーメント (kg·mm²)

284,710

移動質量 (kg)

12

全体の質量 (kg)

24

ガイドの種類

エアベアリング

ドライブの種類

トルクモーター、三相、ブラシレス

中間回路電圧 (V DC)

48, nominal 最大80

ピーク電流 (A)

6.9

公称電流 (A)

3.2

ピークトルク (Nm)

85

公称トルク (Nm)

39

トルク定数 (Nm/A)

12.3

抵抗相相 (Ω)

3.6

インダクタンス相相 (mH)

1.24

逆起電力位相 (V/kRPM)

10.1

作動圧力

75~85psi (515~585kPa)

空気消費量

<2SCFM (56 SLPM)

大気質

クリーン (1.0 μm以上にろ過) - ISO 8573-1クラス1 オイルフリー - ISO 8573-1 クラス 1 ドライ (露点-15℃) - ISO 8573-1クラス3

材質

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール取り付け金具

ライン/回転

55,040

速度

500 rpm max.

この製品について

摩擦フリー, モーター式。PIglide RLAシリーズの直接駆動フラット回転ステージは、最高の精度を実現するように設計されています。彼らは薄型と大きなクリアアパーチャを持っています。RLAステージは、優れた移動精度、平坦性、およびウォブル性能を提供します。

■特徴

・直径365mmのモーションプラットフォーム、直径260mmの開口部 ・ロープロファイル ・偏心と平坦度 < 300 nm 概要

■3相トルク モーター

ブラシレス/低コギングトルク

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。これは、スイッチオン時に参照が不要であることを意味し、動作中の効率と安全性を向上させます。

■応用分野

トモグラフィー、ビームラインシステム、ウェーハ計測、ウェーハ検査、測定技術、検査システム、校正、走査。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適です。

■アクセサリーとオプション

インクリメンタルエンコーダまたはアブソリュートエンコーダ/PIglideフィルターと空気準備キット/単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ/多軸/カスタマイズされたセットアップ/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • 型番

    A-688.A100

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A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ A-688.A100の性能表

商品画像 価格 (税抜) 移動範囲 モーションプラットフォームの直径 (mm) 偏執 (nm) 平ら (nm) ぐらつく (μrad) 負荷容量、軸方向 (N) 耐荷重、ラジアル (N) 負荷トルク、MX,Y (Nm) 慣性モーメント (kg·mm²) 移動質量 (kg) 全体の質量 (kg) ガイドの種類 ドライブの種類 中間回路電圧 (V DC) ピーク電流 (A) 公称電流 (A) ピークトルク (Nm) 公称トルク (Nm) トルク定数 (Nm/A) 抵抗相相 (Ω) インダクタンス相相 (mH) 逆起電力位相 (V/kRPM) 作動圧力 空気消費量 大気質 材質 統合センサー センサー信号 ライン/回転 速度
A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ-品番-A-688.A100 要見積もり 無制限、>360° 365 300 175 1 770 190 36 284,710 12 24 エアベアリング トルクモーター、三相、ブラシレス 48, nominal 最大80 6.9 3.2 85 39 12.3 3.6 1.24 10.1 75~85psi (515~585kPa) <2SCFM (56 SLPM) クリーン (1.0 μm以上にろ過) - ISO 8573-1クラス1
オイルフリー - ISO 8573-1 クラス 1
ドライ (露点-15℃) - ISO 8573-1クラス3
ハードコートアルミニウム、ステンレススチール取り付け金具 インクリメンタル角度測定システム Sin/cos, 1 V peak-peak 55,040 500 rpm max.

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フィルターから探す

回転ステージをフィルターから探すことができます

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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