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アクティブ軸
Z
Z単位の移動範囲 (µm)
100
移動範囲 (Z) 、開ループ、-20〜120V (µm)
115
直線性誤差 (%)
0.03
ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad)
<5
ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad)
<5
ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad)
<10
再現 (nm)
<2
分解能、開ループ (nm)
0.2
統合センサー
静電容量式、直接位置測定
システム解像度 (nm)
0.3
ドライブの種類
ピクマ®
電気容量 (μF)
6
剛性 (N/μm)
2.5
Zの共振周波数、無負荷 (Hz)
700
Zの共振周波数、120gの負荷下 (Hz)
530
Zの共振周波数、200gの負荷下 (Hz)
415
Z単位の許容押し力 (N)
50
Z単位の許容引張力 (N)
20
ガイド
レバー増幅付き曲げガイド
全体の質量 (g)
580
材料
アルミニウム
使用温度範囲 (℃)
-20から80
ケーブル長 (m)
1.5
センサーコネクタ
LEMO FFA.00.250.CTLC17
型番
P-733.ZCD取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (µm) | 移動範囲 (Z) 、開ループ、-20〜120V (µm) | 直線性誤差 (%) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad) | ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad) | 再現 (nm) | 分解能、開ループ (nm) | 統合センサー | システム解像度 (nm) | ドライブの種類 | 電気容量 (μF) | 剛性 (N/μm) | Zの共振周波数、無負荷 (Hz) | Zの共振周波数、120gの負荷下 (Hz) | Zの共振周波数、200gの負荷下 (Hz) | Z単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容引張力 (N) | ガイド | 全体の質量 (g) | 材料 | 使用温度範囲 (℃) | コネクタ | ケーブル長 (m) | 推奨コントローラ/ドライバ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | Z | 100 | 115 | 0.03 | <5 | <5 | <10 | <2 | 0.2 | 静電容量式、直接位置測定 | 0.3 | ピクマ® | 6 | 2.5 | 700 | 530 | 415 | 50 | 20 | レバー増幅付き曲げガイド | 580 | アルミニウム | -20から80 | Dサブ7W2 (m) | 1.5 | E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-754 |
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