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A-142 PIglide ボイスコイルリニアステージ エアベアリング_垂直オプション-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

X

X単位の移動範囲 (mm)

10

Xの加速度、無負荷 (m/s²)

20

最大速度 (X) (無負荷) (mm/秒)

450

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (μm)

±0.1

平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm)

±0.5

Xでの双方向再現性 (μm)

±0.1

X単位の位置決め精度、校正済み (μm)

±0.2

X 単位の最小増分モーション (μm)

0.05

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

センサー信号

Sin/cos、1Vピークピーク

センサー解像度 (nm)

5

センサー信号周期 (μm)

20

基準スイッチ

エンコーダインデックス

リミットスイッチ

ホール効果

ドライブの種類

ボイスコイル

公称電圧 (V)

48

ピーク電圧 (V)

80

公称電流、実効値 (A)

0.5

ピーク電流、実効値 (A)

2

Xの負の運動方向への駆動力 (N)

5

Xの正の運動方向への駆動力 (N)

5

Xの負の運動方向のピーク力 (N)

20

Xの正の運動方向のピーク力 (N)

20

力定数 (N/A)

10

抵抗相間 (Ω)

7

インダクタンス相間 (mH)

7.8

逆起電力 (V・s/m)

9.7

ガイド

エアプリロード付きエアベアリングガイド

質量をXに移動、無負荷 (g)

250

Xでの許容プッシュ力 (N)

10

Z単位の許容押し力 (N)

30

許容トルク (θx) (N·m)

0.5

許容トルク (θY) (N·m)

0.5

全体の質量 (g)

600

空気消費量 (リットル/分)

28

ケーブル長 (m)

0.5

この製品について

■製品概要

・超小型電動エアベアリングリニアステージ ・高性能リニアモーションのための小型ステージ設計 ・高精度、再現性、超滑らかな動き ・垂直Zステージ動作–カウンターバランスオプション ・多軸ミニチュアステージアプリケーション – ミニチュアXYテーブルとXYZステージ ・モーションコントローラ、プログラミング、コンピュータ制御オプション

■アクセサリとオプション

・PIglideフィルターと空気準備キット ・垂直ステージ取り付け用の空気圧カウンターバランス

■ミニチュアエアベアリングステージの用途

・A-142エアベアリングミニチュアリニアステージは、計測、フォトニクスアライメントシステム、光学系の位置決め、スキャンなどの高精度モーションアプリケーションに最適。 ・非接触設計は、クリーンルームアプリケーションに最適。

■製品特徴

・450mm/sまでの速度 ・20m/sまでの加速度2 ・センサー分解能:5nm ・27mmのロープロファイル ・非常にコンパクトなモーションプラットフォーム:75mm × 80mm ・10mmまでの移動範囲 ・3kgまでの耐荷重

  • 型番

    A-142.010A1

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A-142 PIglide ボイスコイルリニアステージ エアベアリング_垂直オプション A-142.010A1の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) Xの加速度、無負荷 (m/s²) 最大速度 (X) (無負荷) (mm/秒) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (μm) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm) Xでの双方向再現性 (μm) X単位の位置決め精度、校正済み (μm) X 単位の最小増分モーション (μm) 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) センサー信号周期 (μm) 基準スイッチ リミットスイッチ ドライブの種類 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) Xの負の運動方向への駆動力 (N) Xの正の運動方向への駆動力 (N) Xの負の運動方向のピーク力 (N) Xの正の運動方向のピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力 (V・s/m) ガイド 質量をXに移動、無負荷 (g) Xでの許容プッシュ力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 許容トルク (θx) (N·m) 許容トルク (θY) (N·m) 全体の質量 (g) 空気消費量 (リットル/分) ケーブル長 (m) 使用温度範囲
A-142 PIglide ボイスコイルリニアステージ エアベアリング_垂直オプション-品番-A-142.010A1 要見積もり X 10 20 450 ±0.1 ±0.5 ±0.1 ±0.2 0.05 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 5 20 エンコーダインデックス ホール効果 ボイスコイル 48 80 0.5 2 5 5 20 20 10 7 7.8 9.7 エアプリロード付きエアベアリングガイド 250 10 30 0.5 0.5 600 28 0.5 15 ~ +25 ℃

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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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