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A-141 小型リニアステージエアベアリング付-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

X

移動範囲 (mm)

35

ピッチ/ヨー/ロール (µrad)

10

真直度/平坦度 (µm) 全走行範囲

0.2

速度アンロード (m/s)

0.25

加速度アンロード (m/s²)

3.5

z単位の負荷容量 (N)

30

許容トルクθx (Nm)

1.1

許容トルクθy (Nm)

2.8

移動質量 (kg)

0.3

全体の質量 (kg)

0.6

ガイドの種類

エアベアリング

ドライブの種類

リニアモーター、アイロンレス、三相

中間回路電圧、実効値 (V DC)

48 最大80

ピーク電流、実効値 (A)

1.1

公称電流、実効値 (A)

0.3

ピーク力 (N)

2.3

公称力 (N)

0.58

力定数、実効値 (N/A)

2.1

抵抗相相 (Ω)

22.4

インダクタンス相相 (mH)

1

逆起電力位相 (V·s/m)

0.7

ケーブル

内部、可動ケーブルなし

統合センサー

移動範囲制限とホームインデックスを備えたインクリメンタルリニアエンコーダ

センサー信号

Sin/cos、1 Vピークピーク、20 μmの信号周期

センサー解像度 (nm)

4.88

双方向再現性 (nm)

±0.1

精度、補償なし (µm)

±2.0

精度、誤差補正付き (µm)

±0.2

作動圧力 (psi) (480±35 kPa)

70±5

この製品について

■製品概要

エアベアリング付きPIglide MBリニアステージには、プリロードエアベアリングと統合された光学リニアエンコーダを備えたサーボリニアモータドライブが装備。このステージは、ミニチュアフォーマットで超高精度を提供。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。

■応用分野

このステージは、計測、フォトニクスアライメント、光学系の位置決め、スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。非接触設計は、クリーンルームアプリケーションにも最適。電気ケーブルは移動しません。エアベアリングモジュールは、究極の位置安定性を実現するロック設計を提供。

■アクセサリーとオプション

・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■製品特徴

・モーションプラットフォームのサイズ57mm×93mm ・ロープロファイル38mm ・移動範囲35mm ・3kgまでの耐荷重 ・0.25m/秒までの速度 ・3.5m/s²までの加速度

  • 型番

    A-141

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A-141 小型リニアステージエアベアリング付 A-141の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (mm) ピッチ/ヨー/ロール (µrad) 真直度/平坦度 (µm) 全走行範囲 速度アンロード (m/s) 加速度アンロード (m/s²) z単位の負荷容量 (N) 許容トルクθx (Nm) 許容トルクθy (Nm) 移動質量 (kg) 全体の質量 (kg) ガイドの種類 ドライブの種類 中間回路電圧、実効値 (V DC) ピーク電流、実効値 (A) 公称電流、実効値 (A) ピーク力 (N) 公称力 (N) 力定数、実効値 (N/A) 抵抗相相 (Ω) インダクタンス相相 (mH) 逆起電力位相 (V·s/m) ケーブル 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) 双方向再現性 (nm) 精度、補償なし (µm) 精度、誤差補正付き (µm) 作動圧力 (psi) (480±35 kPa)
A-141 小型リニアステージエアベアリング付-品番-A-141 要見積もり X 35 10 0.2 0.25 3.5 30 1.1 2.8 0.3 0.6 エアベアリング リニアモーター、アイロンレス、三相 48
最大80
1.1 0.3 2.3 0.58 2.1 22.4 1 0.7 内部、可動ケーブルなし 移動範囲制限とホームインデックスを備えたインクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1 Vピークピーク、20 μmの信号周期 4.88 ±0.1 ±2.0 ±0.2 70±5

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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

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26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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