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A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X単位の移動範囲 (mm)

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (μm)

平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm)

ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad)

X単位の位置決め精度、校正済み (μm)

X単位の位置決め精度、未校正 (μm)

センサー解像度 (nm)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

x

Xの加速度、無負荷 (m/s²)

30

最大速度 (X) (無負荷) (mm/秒)

1,000

Xでの双方向再現性 (μm)

±0.1

センサー信号周期 (μm)

20

基準スイッチ

エンコーダインデックス

リミットスイッチ

ホール効果

ドライブの種類

アイアンレス3相リニアモーター

公称電圧 (V)

48

ピーク電圧 (V)

80

公称電流、実効値 (A)

4.4

ピーク電流、実効値 (A)

15

Xの負の運動方向への駆動力 (N)

87.5

Xの正の運動方向への駆動力 (N)

87.5

Xの負の運動方向のピーク力 (N)

298

Xの正の運動方向のピーク力 (N)

298

力定数 (N/A)

19.9

抵抗相間 (Ω)

3.6

インダクタンス相間 (mH)

1.2

逆起電力位相 (V・s/m)

16

この製品について

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ210mm×210mm移動範囲50mmから750mm ・1nmまでの分解能

■製品概要

・PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 ・高力リニアモーターは数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大60kgのペイロードをサポートできます。このモデルの横方向の対向、アクティブプリロードエアベアリング設計により、任意の方向に取り付けることができます。

■アクセサリーとオプション

・エンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・空気圧ロック/ロック解除オプション ・XYセットアップと個々の構成 ・ケーブルトラックのバリエーション ・垂直 (Z) 方向のカウンターウェイト付きオプション ・利用可能なカスタマイズ ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

・PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。 ・摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    A-123.350A1

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A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ A-123.350A1の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) Xの加速度、無負荷 (m/s²) 最大速度 (X) (無負荷) (mm/秒) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (μm) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) Xでの双方向再現性 (μm) X単位の位置決め精度、校正済み (μm) X単位の位置決め精度、未校正 (μm) 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) センサー信号周期 (μm) 基準スイッチ リミットスイッチ ドライブの種類 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) Xの負の運動方向への駆動力 (N) Xの正の運動方向への駆動力 (N) Xの負の運動方向のピーク力 (N) Xの正の運動方向のピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相 (V・s/m)
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ-品番-A-123.350A1 要見積もり x 350 30 1,000 ±0.5 ±0.5 ±7.5 ±7.5 ±0.1 ±0.3 ±3 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 80 4.4 15 87.5 87.5 298 298 19.9 3.6 1.2 16

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位置決めステージをフィルターから探すことができます

移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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