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高真空アングルバルブ-AOV株式会社

AVB-KF25-P | 高真空アングルバルブ
AOV株式会社

接続フランジ

開閉方式

使用圧力範囲

この製品について

■製品説明

本製品は、流路が90度に屈曲した構造を採用した真空用アングルバルブです。真空配管の分岐部や装置との接続部に最適で、省スペース設計が求められるレイアウトに対応します。

■特徴

・軸シールには溶接ベローズを採用しており、高い気密性を実現しています。 ・真空シール材には高真空対応のバイトンOリングを使用し、最大150℃までのベーキングに対応可能です。 ・接続フランジはNW (KF) 規格およびICF規格に対応しており、開閉方式は手動式と圧空式をラインアップ。用途に応じた最適な選択が可能です。

  • 型番

    AVB-KF25-P

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高真空アングルバルブ AVB-KF25-Pの性能表

商品画像 価格 (税抜) メーカー 接続フランジ 開閉方式 使用圧力範囲
高真空アングルバルブ-品番-AVB-KF25-P 要見積もり HTC NW25 (KF25) 圧空 1X10^-7Pa～大気圧

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使用用途

#半導体製造 #液晶製造 #真空搬送

操作方式

手動式 空圧式 電動式

接続方式

フランジ接続 クランプ接続 溶接接続

特殊機能

ベローズシール型 高温対応型 クリーン対応型

Cv

0 - 5 5 - 10 10 - 50

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