製品

株式会社フィルテック

東京都
2001年

会社概要

株式会社フィルテックは半導体開発のエキスパート集団です。

長年お客様からの信頼を得て、テストウェハの提供やコンサルティング等でお客様の半導体技術開発を支援して参りました。

その事業とは別にフィルテックでは半導体製造から派生した技術、ガスや水をクリーンに瞬間的に加熱する小型高効率の熱交換器ヒートビームシリンダーの開発に成功しました。
ヒートビームシリンダーを販売開始してからは半導体分野のみならず様々な幅広い分野で応用活用されております。

事業内容

熱交換器ヒートビームシリンダー事業
　･ヒートビームシリンダー（気体加熱）
　･ヒートビームシリンダー（過熱水蒸気発生用途)
　･ヒートビームを組み込んだCVD装置
　･ヒートビームを組み込んだ水素発生装置

テストウエハソリューション事業
・ベアウエハ
・膜付きウエハ
・チャージアップモニタウエハ
・パターンウエハ
・カスタム設計パターンウエハ
・CMP評価ウェハ
・実装評価ウェハ
・MEMS加工ウエハ

コンサルティング事業
･再生エネルギー導入支援
･結晶成長高温CVD装置

会社沿革

平成13年5月	株式会社フィルテック設立　資本金2000万円
本社所在地：東京都千代田区平河町2-5-7
平成13年8月	ASETで開発したX線露光装置(PXL)利用のコンソーシアムを設立し代表となる
平成14年11月	世界初300mmX線露光ウエハの供給及び利用サービス開始
平成15年11月	資本金を1億7500万円に増額
平成16年7月	資本金を2億580万円に増額
平成16年12月	平成16年度産業技術実用化開発費助成金のNEDO採択
RFパウダーチップ開発開始
平成17年1月	世界初300mmチャージアップ測定ウエハの市場販売開始
平成17年12月	本社を東京都千代田区麹町4-3-4に移転
平成18年3月	資本金を3億5092万円に増額
平成21年3月	平成20年度NEDO産業技術実用化開発費補助事業採択。
RF温度測定システム開発開始
平成21年10月	本社を東京都文京区弥生2-11-16東京大学武田先端知ビルに移転
平成24年8月	大気雰囲気の無限連続基板に結晶膜を成長させるヒートビーム装置開発に成功発表
平成24年9月	本社を東京都文京区本郷7-3-1東京大学アントレプレナープラザに移転
平成27年8月	本社を東京都文京区湯島2-29-3湯島太田ビル5階に移転
令和4年9月	本社を東京都江東区亀戸1-8-7飯野ビル7階に移転
令和4年10月	資本金を1億円に減額

主要取引先

株式会社日立ハイテクネクサス
株式会社荏原製作所
Applied Materials. Inc.
一般社団法人日本検査機器工業会
株式会社ジェイ・イー・ティ

会社基本情報

郵便番号	〒136-0071
本社住所	東京都江東区亀戸1-8-7飯野ビル7階
創業年	2001年
資本金	100,000,000円
法人番号	8010001074233
リンク	株式会社フィルテックホームページ