S-TEC株式会社

■特徴 ・対応ウェーハサイズ：3～12インチ ・対応薬液：各種有機、酸、アルカリ　　　　 ・乾燥機：公転式S/D、IPAドライヤー ・処理方...

• 加工・工作機器

• エッチング装置

■特徴 ・対応ウェーハサイズ：4～8インチ ・対応薬液：各種有機、酸、アルカリ ※実験機から量産機まで対応します

• 加工・工作機器

• エッチング装置

■特徴 ・ウェーハ表面に発生する水素ガス (気泡) を回転動作により除去→エッチング斑の抑制をします ・Si基板をTMAH、KOH等で深堀します

• 加工・工作機器

• エッチング装置

■特徴 ・薬品洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。 お客様のご要望に応じ作成可能です。

• 洗浄剤・装置

• 洗浄装置

■特徴 ・超音波洗浄が行える機器です。 お客様のご要望に応じ作成可能です。

• 洗浄剤・装置

• 洗浄装置

各種キャリア対応ご相談に応じます。 各種オプションを取り揃えています。

• 搬送器具・装置

• 搬送装置

■特徴 ・ロードセルにて残薬液管理。 ・メッキ液サンプリングタンク装備。 その他お客様のご要望に応じます。

オリジナルエアーバルブ NC、NO、複動各種取り揃えております。

• 弁

• メカニカルバルブ

投げ込みヒーター

■特徴 ・石英チューブ、治具等を薬液洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。

• 洗浄剤・装置

• 洗浄装置

■特徴 ・薬品洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。 お客様のご要望に応じ作成可能です。

• 洗浄剤・装置

• 洗浄装置

■特徴 ・8インチウエ－ハ用ハーフピッチウエ－ハ移載機。 各種オプションを取り揃えています。

• 搬送器具・装置

• 搬送装置

■特徴 サイズ2～12インチまで対応しております。

■特徴 サイズ2～8インチまで対応しております。

SUS製、PVC製ご要望に応じて作成いたします。

N2圧送タイプ、ポンプ圧送タイプそれぞれ取り揃えています。

N2圧送タイプ、ポンプ圧送タイプそれぞれ取り揃えています。

ご要望に応じて製作いたします。 酸、アルカリ各種薬液に対応します。

ウェハ手動移載治具

■特徴 ・メッキ液を大容量タンクに溜めてからドラム缶に移送回収するシステムです。 お客様の要求仕様で設計検討します。

お客様の要望に応じ様々な大きさにて作成します。

N2圧送タイプ、ポンプ圧送タイプそれぞれ取り揃えています。

オリジナルキャリアハンガー 各種キャリアに応じて製作しています。

オリジナルウェハーハンガー

オリジナルパルスタイマー