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項目別

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃

基板加熱温度 ℃

100 - 500

膜厚分布 %

5 - 15

神港精機の蒸着装置

18 点の製品がみつかりました

18 点の製品

神港精機株式会社

薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置

330人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

電子デバイス用特殊仕様。特別なプロセスやデバイスに特化し基板形状や処理温度を問わず柔軟に対応しています。

4種類の品番

AAMF-C1065SB-L-薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置
AAMF-C1260SB-M-薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置
AAMF-C1275SB-L-薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置
AAMF-C845SB-L-薄膜形成装置 ロードロック型蒸着装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 標準型蒸着装置

440人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

個別半導体・化合物半導体の生産工程で豊富な実績を誇るベストセラータイプです。 豊富なオプションと高い信頼性が量産現場で実力発揮します。

4種類の品番

AAMF-C2280SPB-薄膜形成装置 標準型蒸着装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置

380人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

用途が拡大しているリフトオフプロセスに対応した専用蒸着装置です。 高い蒸発粒子の垂直性と基板水冷機構の採用によりレジストの保護と微細パターンの維持を...

2種類の品番

AAMF-C1650SBR-薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 横型蒸着装置

330人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

抵抗体の端面、水晶振動子の電極形成等小型電子部品の生産に最適です。 小型チャンバーで大量の処理が可能で基板の両面一括成膜が行えます。

3種類の品番

AAMH-C1075SB-薄膜形成装置 横型蒸着装置
AAMH-C1080SB-薄膜形成装置 横型蒸着装置
AAMH-C20130SB-薄膜形成装置 横型蒸着装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 大型樹脂基板用蒸着装置

250人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

自動車の外装品の装飾目的の成膜に対応した大型蒸着装置です。短タクトで樹脂基板に低温で蒸着が可能です。 電磁波シールドも含め多くの生産ラインで活躍して...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置

300人以上が見ています

最新の閲覧: 10分前

基礎研究実験に対応したローコストの小型蒸着装置です。 目的に合わせ蒸発機構・基板加熱・冷却機構等各種機構が選択できます。

4種類の品番

AMF-645SB-薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置

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