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項目別
動作原理
油回転型
ドライ型
クライオ型
圧力領域
高真空用
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
100 - 1,000
1,000 - 1,100
1,100 - 100,000
排気速度 L/min
0 - 100
100 - 500
500 - 5,000
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
500,000 - 5,000,000
モータ出力 kW
0 - 0.5
0.5 - 2
質量 kg
0 - 10
10 - 50
50 - 200
200 - 1,000
1,000 - 4,000
騒音値 dB(A)
55 - 60
60 - 65
電源電圧 V
30 - 150
150 - 250
250 - 380
380 - 500
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■製品説明 磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現...
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■製品説明 豊富な納入実績を誇る、標準的な油回転真空ポンプです。電源も100Vから200V、単相、三相などラインナップも充実しています。 ...
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■製品説明 標準型のクライオポンプで、各種サイズ (4インチから30インチ口径) を取り揃えております。バンドヒーター、クライオ温度計、...
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■特徴 ・フロン系コールドトラップ代替 ・排気時間を大幅に短縮し、装置の稼働率向上に寄与します。 ・ヘリウムガスを使用しているので...
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■特徴 クラス最高の排気容量 排気容量をUPすることにより再生インターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献
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■特徴 装置のコンパクト化に貢献 冷凍機ユニットを横方向より取り付けることにより、高さ方向の寸法を極力小さくしたものです。 (CTI製...
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■製品説明 T-station85 は、nEXT85H (ターボ分子ポンプ) とダイヤフラム型真空ポンプまたはロータリーポンプを組み合わせて、シンプル...
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■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。単相/三相電源を1機種で対応可能です。 ■特徴 高湿ガスオイルの逆拡散...
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■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。 ■特徴 ドライ真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力です。エアー...
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したケミカルタイプのドライ真空ポンプです。 ■用途 近年の半導体製造産業、エレクトロニ...
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■製品説明 接ガス部に油を使用していないドライタイプで到達圧力性能を向上させた高真空ポンプです。広域型ターボ分子ポンプの補助ポン...
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したドライ真空ポンプのケミカルタイプで到達圧力性能を向上させた高真空タイプになります...
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したドライ真空ポンプのケミカルタイプで到達圧力性能を向上させた高真空タイプになります...
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■製品説明 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプとなります。用途に合わせて選べるラインナップがあります。広域型タ...
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
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■製品説明 ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、中真空領域で優れた排気性能を提供する拡散ポンプです。PBL型油拡散エゼクタポンプは、...
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■製品説明 油拡散ポンプは小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く使用されており...
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■製品説明 PFL型油拡散ポンプは､蓄積された研究成果と豊富な経験を基に設計･製作されております｡ラインナップは22B～52Bの4機種から選択...
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■製品説明 ・分析機器向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプです。 ・電源はAC Motor 1Φ100 ～ 120 / 200 ～ 240Vを準備しています...
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■製品説明 ・分析機器向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプです。 ・電源はAC Motor 1Φ100 ～ 120 / 200 ～ 240Vを準備しています...
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