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項目別
動作原理
クライオ型
圧力領域
高真空用
到達真空度 Pa
0 - 0.01
排気速度 L/min
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
500,000 - 5,000,000
質量 kg
0 - 10
10 - 50
50 - 200
200 - 1,000
1,000 - 4,000
電源電圧 V
150 - 250
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三弘エマテック株式会社
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