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テルモセラ・ジャパンのスパッタリング装置

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2 点の製品

テルモセラ・ジャパン株式会社

MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置

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■MiniLab ʻPlug & Playʼ 感覚でコンポーネントを組合せるモジュラーデザイン。必要な成膜条件を満たす専用機のセミカスタムメイドが可能...


テルモセラ・ジャパン株式会社

コンパクト・スモールフットプリント高性能RF/DC マグネトロンスパッタリング装置 nanoPVD-S10A

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■優れた基本性能 ・到達真空度 5x10-5 Pascal ・SUS304高真空チャンバー ・素早い真空到達 (10-3Paまで約10分) ・膜均一性:±3% (絶縁膜...




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