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XYスキャナレンジ µm

10 - 70 70 - 100 100 - 120

Zスキャナレンジ μm

1 - 5 5 - 15 15 - 30

分解能 nm

0 - 1

振動ノイズ μm/s

0 - 1 1 - 7

XYステージ駆動範囲 mm

0 - 20 20 - 200 200 - 300 300 - 400

Zステージ駆動範囲 mm

0 - 20 20 - 200

使用用途

材料評価 電気特性測定 表面形状観察 欠陥評価 研究開発 非破壊測定 マッピング
  1. Metoree
  2. 観察機器
  3. 走査型プローブ顕微鏡 (SPM)
  4. パーク・システムズ・ジャパン株式会社

パーク・システムズ・ジャパンの走査型プローブ顕微鏡 (SPM)

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3 点の製品

最も正確で使いやすい原子間力顕微鏡 (AFM) Park NX10-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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自動欠陥検査機能を搭載した唯一のウェハーファブ用AFM Park NX-Wafer-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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自動欠陥検査機能を搭載した唯一のウェハーファブ用AFM Park NX-Wafer

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高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM Park NX-3DM-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

パーク・システムズ・ジャパン株式会社

高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM Park NX-3DM

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2 自動欠陥検査機能を搭載した唯一のウェハーファブ用AFM Park NX-Wafer-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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