項目別

回転範囲θZ °

200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

使用用途

光学調整半導体検査計測装置精密加工研究開発組立工程

ピーアイ・ジャパンの回転ステージ

企業: ピーアイ・ジャパン最大角速度: 50 - 500 °/秒

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