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分解能 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 16加速電圧 kV
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30倍率 倍
1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000ステージ移動範囲 °
-15 - -10 -10 - 0 0 - 70 70 - 90最大試料寸法 mm
30 - 80 80 - 200 200 - 1,500プローブ電流 nA
10 - 100 100 - 500使用用途
元素分析 マッピング 自動測定 3D分析 低真空観察 異物分析 高分解能観察 スクリーニング分析3 点の製品がみつかりました
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