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株式会社YGK
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SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
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SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置。SiCウエハでの高感度測定に。プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
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