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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L-東京計装株式会社

東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L

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■概要 UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。測定管路の口径は2.5m...


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