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東京計装のCMP装置

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5 点の製品

東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006

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■概要 UCF006はコンパクトモデルの超音波流量モニタです。流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であっ...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L

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■概要 UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。測定管路の口径は2.5m...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Eシリーズ

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■概要 UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ

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■概要 UCUF-Kシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-K形検出器と、SFC形変換器で...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ

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■概要 UCUF-Mシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-M形検出器と、SFC形変換器で...




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