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株式会社MPS
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■概要 RF (13.56MHz) を使用したプラズマCVD装置です。絶縁物でもDLCの成膜が可能です。
株式会社MPS
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■概要 モード変換型のマイクロ波CVD装置です。大学での実験装置としてご使用いただいております。
株式会社MPS
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■概要 簡便にダイヤモンドの成膜ができるよう小型の熱フィラメントCVD装置を開発しました。チャンバーはアルミ合金製で作っており、強制空冷しております。従...
株式会社MPS
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■概要 窒化物を作るための実験装置です。原料は塩化物とアンモニアを使用します。成膜はハロゲンランプ加熱による熱CVDと誘導結合プラズマによるプラズマCVD...
株式会社MPS
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■概要 直流の高電圧パルス放電を利用したダイヤモンドライクカーボン用プラズマCVD装置です。原料ガスはメタンまたはアセチレンを選択できます。
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