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使用用途
#レジスト除去
#残留有機膜剥離
#イオン注入ポリマー除去
#CCDカラーフィルター処理
#チップパッケージ処理
プラズマ方式
マイクロ波プラズマ型
ガス種別
フッ素系ガス型
混合ガス型
対応ウェーハサイズ mm
75 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 250
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1 点の製品
アルバック販売株式会社
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4.5 会社レビュー
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175.8時間 返答時間
■概要 Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハ...
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