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繰り返し精度 mm

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2

本体質量 kg

50 - 100

定格電圧 V

50 - 250

タツモのクリーンロボット

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1 点の製品

タツモ株式会社

クリーン搬送システム 真空ロボット 高真空対応 高真空ロボット MTPシリーズ

260人以上が見ています

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低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。 ■製品特徵 ・全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により...


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