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タツモのクリーンロボット

5 点の製品がみつかりました

5 点の製品

タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット

80人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。 ■製品特徴 ・3FOUP...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 真空ロボット 高真空対応 高真空ロボット MTPシリーズ

90人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。 ■製品特徵 ・全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10^-6Paの真空環境に...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット

100人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

本製品は、Φ300mmウエーハに対応した搬送ロボットです。 ■製品特徴 ・マッピングセンサーも用意しております。 ・最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット

110人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。 ■製品特徴...


タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル

130人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。 ■製品特徴 ・ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。 ・最大到達距離:1500mmま...


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