日本生産技術研究所のプラズマCVD装置

薄膜形成装置 プラズマCVD装置

神港精機株式会社

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真空 直接気化式-薄膜形成装置 DH-CVD

株式会社魁半導体

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独自のプラズマ制御方式 立体物用プラズマCVD装置

ジャパンクリエイト株式会社

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ICPCVDプロセスモジュール PlasmaPro 100 ICPCVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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ナノ材料の高い成膜特性を実現 PlasmaPro 100 Nano CVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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プラズマCVDシステム PlasmaPro 100 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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コンパクトな多様なエッチングとデポジションのソリューション PlasmaPro 80 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現 PlasmaPro 80 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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プラズマ励起化学気相堆積ロセスの柔軟なソリューション PlasmaPro 800 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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熱+プラズマCVD装置

株式会社MPS

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高圧パルスプラズマCVD装置

株式会社MPS

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RFプラズマCVD装置

株式会社MPS

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