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セルバックのプラズマCVD装置

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株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS HDP-CVD

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PEGASUS HDP-CVDは、ICPの高密度プラズマの高いガス分解効率で、低温成膜と緻密な膜を作り上げます。2タイプのHDP-CVDは、BタイプとHタイプが有り、低温成膜...


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