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株式会社セルバック
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PEGASUSは、メモリ、パワーデバイス、パッケージ、MEMS市場において高品位の成膜プロセスを提供します。
株式会社セルバック
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PEGASUS Plat Formは、省スペース設計され柔軟なアーキテクチャによりプラズマCVD、RTA、Ashing、EtchingのProcess chamberが統合可能な...
株式会社セルバック
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PEGASUS HDP-CVDは、ICPの高密度プラズマの高いガス分解効率で、低温成膜と緻密な膜を作り上げます。2タイプのHDP-CVDは、BタイプとHタ...
セルバックのプラズマCVD装置3製品中の注目ランキング
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