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インターテック販売のプラズマCVD装置

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CVD装置 / メッキ装置 Concept-ONE Concept-150/200-株式会社インターテック販売
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株式会社インターテック販売

CVD装置 / メッキ装置 Concept-ONE Concept-150/200

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■装置概要 本装置は、4/5/6及び8インチ・ウェハーに対応しており、プラズマCVD法によってウェハーに酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜を...


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