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日本電子工業のプラズマCVD装置

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日本電子工業株式会社

NEO Cコーティング (プラズマCVD) 装置

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低温プラズマの熱処理への応用により開発されたプラズマCVD法は、PVD法・CVD法両技術の特長を兼ね備え、すでに半導体産業では重要な成膜...




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