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XQ InstrumentsのプラズマCVD装置

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XQ Instruments

大型基板用PECVD COPRA Linear Sources

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■特徴 ・パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇が無い為、基板ダメージが少ない ・適用真空範囲が、1x10-4から1x10-1 mbarと...




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