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XQ InstrumentsのプラズマCVD装置

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大型基板用PECVD COPRA Linear Sources-XQ Instruments

XQ Instruments

大型基板用PECVD COPRA Linear Sources

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最新の閲覧: 9時間前

■特徴 ・パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇が無い為、基板ダメージが少ない ・適用真空範囲が、1ｘ10-4から1ｘ10-1 mbarと広い為、スパッタ装置...


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