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プラズマ励起方式

容量結合型

日本シード研究所のプラズマCVD装置

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株式会社日本シード研究所

CVD装置 プラズマCVD装置

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■概要 ・容量結合型プラズマ方式のCVD装置です。 ・加熱機構を備えており、任意の温度に基板を加熱して成膜することが可能です。 ・直感...




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