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北野精機のプラズマCVD装置

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北野精機株式会社

ホットワイヤー方式 ダイヤモンド合成装置

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■特徴 本装置は、タングステンフィラメントを使用したホットワイヤー型CVD装置で、プラズマ損傷の無い大面積と高純度薄膜成形の特徴を持...


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