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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000使用用途
精密位置決め 顕微鏡制御 光学調整 半導体製造 ナノ操作 表面観察 干渉計測17 点の製品がみつかりました
17 点の製品
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■特徴 ・平坦度5nm、表面分析および走査型顕微鏡に最適 ・平行運動学による応答時間の短縮と多軸精度の向上 ・移動範囲100μm×100μm ・有...
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■特徴 ・2軸で高速位置決め ・省スペースかつ軽量 ・高い案内精度 ・10nmの高いセンサー分解能 ・セルフロック、静止時発熱なし ・低騒...
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■応用分野 ・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・...
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■特徴 ・コンパクトな設計: 高さわずか32mm、リードスクリューダクトやフランジ付きモーターは不要 ・分解能100nmの直接測定リニアエン...
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■応用分野 ・マイクロマシニング ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング ・テスト手順と品質保証 ■PICMAピエゾアクチュエータによ...
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■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・フ...
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■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 製品概要 ■PICMA®ピ...
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■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・フ...
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製品概要 ■PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命® 特許取得済みのPICMAピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されていま...
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超解像顕微鏡用の静電容量式位置測定 ■特徴 ・最高レベルの安定性と再現性 ・移動範囲は最大200 µm × 200 µm ×200 µm ・E-727USBコント...
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高解像度顕微鏡用の安価なナノポジショニング システム ■特徴 ・ピエゾ抵抗センサーを使用した安価なコスト最適化設計 ・移動範囲は最...
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■特徴 ・先端/傾斜角10mrad、光学偏向角20 mrad (>1°) ・1.6kHz (1インチミラー) までの高い共振周波数により、ダイナミックな動きと高...
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■特徴 ・先端/傾斜角は最大 5 mrad、光学的偏向角は最大10mrad (0.57°) ・10 kHz (0.5インチミラー) までの高い共振周波数により、ダイ...
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■特徴 ・最大20nrad の分解能、優れた位置安定性 ・4mradまでの光ビーム偏向 ・プラットフォームとミラーの間のCTEを調整するためのさま...
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■特徴 ・コンパクト：面60mm×60mm ・100μm×100μm閉ループ移動範囲 (130μm×130μm、開ループ) ・コスト重視のアプリケーション向け ・有...
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■特徴 ・移動範囲50～1,800µm ・0.1nmまでの分解能 ・位置決め精度 0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZバージ...
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■特徴 ・移動範囲はXおよびYで100µm×100µm ・静電容量センサーによる分解能0.1nm ・ダイレクトドライブを備えた高速バージョン ・真空対...
ピーアイ・ジャパンのピエゾステージ17製品中の注目ランキング
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