ピーアイ・ジャパンのピエゾステージ71製品・人気ランキング

項目別

使用用途

#精密位置決め

#顕微鏡制御

#光学調整

#半導体製造

#ナノ操作

#表面観察

#干渉計測

構造

単一軸ステージ

複数軸ステージ

ガイドレール型

用途

高精度測定用

表面加工用

ラボ実験用

光学調整用

ドライブの種類

PICMA

PILine

移動範囲 µm

0 - 50

50 - 100

100 - 200

200 - 500

500 - 1,000

1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5

0.5 - 1

1 - 2

3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200

200 - 400

400 - 600

600 - 1,000

1,000 - 2,000

2,000 - 10,000

10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5

0.5 - 1

1 - 2

2 - 3

3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1

1 - 2

2 - 10

10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05

0.05 - 0.1

0.1 - 0.2

0.2 - 0.3

0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1

2 - 5

5 - 10

10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1

1 - 5

5 - 10

10 - 50

50 - 100

100 - 200

200 - 1,000

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