¿Qué son las Válvulas de Compuerta de Vacío?
Las válvulas de compuerta encuentran su principal aplicación en entornos de fabricación de semiconductores y sistemas de vacío. Se emplean para separar distintas cámaras de vacío o para delimitar áreas de vacío y la atmósfera circundante. Estas válvulas se presentan en una variedad de tipos, en función de sus mecanismos de apertura/cierre, fuerzas ejercidas y estructuras de obturación.
La elección del tipo de válvula se fundamenta en factores como la diferencia de presión que atraviesa la válvula, la rapidez en la apertura y cierre, la generación de polvo y suciedad durante estas operaciones, así como la resistencia térmica y química. Estas válvulas abarcan un rango desde dispositivos de pequeño diámetro, en torno a unas decenas de milímetros, hasta versiones más amplias, como pantallas planas y también de dimensiones considerables, llegando a varios metros de ancho.
Aplicaciones de las Válvulas de Compuerta de Vacío
Se utilizan para separar varias cámaras de vacío o para separar una cámara de vacío de la atmósfera. En este caso, la cámara de vacío se mantiene siempre en un estado de vacío, mientras que los materiales que se van a procesar en la cámara de vacío se transfieren a las otras cámaras de vacío.
En este caso, la cámara de vacío se mantiene siempre en un estado de vacío, mientras que los materiales que se van a procesar en la cámara de vacío se transfieren a la otra cámara de vacío, y la cámara de vacío se particiona de la atmósfera. La válvula también se utiliza para regular el caudal del gas que sale de la cámara de vacío, ajustando la velocidad de apertura de la válvula.
En estos casos, la velocidad de bombeo se regula ajustando la tasa de apertura de la válvula. Cuando se utilizan como válvulas reguladoras de caudal, se emplean válvulas de mariposa con velocidades de apertura y cierre rápidas.
Principio de las Válvulas de Compuerta de Vacío
Las válvulas de compuerta de vacío están disponibles en diversas variantes, dependiendo del obturador de la válvula y de la estructura de apertura/cierre.
El obturador de la válvula tiene una cámara de vacío hermética. El tapón de la válvula está equipado con una junta tórica y material de sellado para mantener la hermeticidad de la cámara de vacío, y algunos productos tienen un calentador incorporado para mantener la misma temperatura que la cámara de vacío, que se controla a altas temperaturas.
- Válvula de compuerta elevadora
Es el tipo más común y se abre y cierra moviendo el tapón de la válvula hacia arriba y hacia abajo. Los productos más pequeños se pueden hacer herméticos con una sola acción de ascender, mientras que los productos más grandes suelen requerir dos acciones de ascender y luego presionar.
Como ambos lados del obturador de válvula son estancos al vacío, la carcasa también tiene una junta tórica u otra estructura sellada. Los obturadores de válvula están disponibles en forma cuadrada y redonda. - Válvula de puerta
La válvula que separa el lado atmosférico de la cámara de vacío se denomina válvula de puerta. Es similar a una válvula de compuerta elevadora, pero no tiene carcasa, ya que un lado está a presión atmosférica y el obturador de la válvula se presiona contra la cámara de vacío para hacerla hermética. - Válvula de compuerta pendular
Este tipo de válvula tiene un obturador redondo que se abre y se cierra moviéndose como un péndulo. Se caracteriza por su compacidad y tiene la ventaja de una baja emisión de polvo debido a la ausencia de piezas deslizantes.