¿Qué es un Plato Poroso?
Los platos porosos se utilizan en equipos de inspección y sierras de corte, con la función de adsorber el objeto que se va a medir o procesar. La superficie de la mesa puede sujetar finas obleas de silicio y otros materiales en estado plano utilizando presión negativa y una estructura porosa. Cuando se utilizan en sierras de corte en dados, las obleas de silicio se cortan en anchuras de 10-20 micrómetros, por lo que la superficie de succión de las obleas de silicio debe ser paralela y plana.
El mandril destaca por sujetar objetos finos sin dañarlos ni deformarlos.
Usos de los Platos Porosos
Cuando se utilizan en equipos de fabricación de semiconductores, pueden dividirse en cuatro tipos principales en función de su aplicación. Los cuatro tipos pueden contribuir a campos como los equipos de medición e inspección.
Las mesas de absorción se utilizan para sierras de corte, amoladoras y pulidoras.
Las mesas calefactoras se utilizan en máquinas de encolado.
Las mesas giratorias se utilizan en sierras de corte, equipos de recubrimiento de resistivos, etc.
Las mesas de tope se utilizan para máquinas de pegado de troqueles, etc.
Principios de los Platos Porosos
Los platos porosos incluyen el grano de acero inoxidable y la cerámica de alúmina, mientras que los materiales del cuerpo incluyen el titanio, el acero inoxidable y el aluminio. Estos materiales se utilizan en función de la aplicación.
La cerámica de alúmina porosa se denomina poroso cerámico y el polvo de acero inoxidable endurecido se denomina poroso metálico. Pueden fabricarse en varios tamaños para adaptarse a la aplicación.
La cerámica porosa se puede colorear. Por lo general, se utilizan colores más oscuros, como el azul oscuro, el marrón y el negro. El color oscuro evita que se detecte la suciedad y los reflejos causados por la luz que incide sobre la pieza, garantizando así la claridad de la imagen.
El tipo general consta de un cuerpo metálico y un cuerpo cerámico poroso. En la superficie porosa opuesta hay una ranura que recibe la pieza de trabajo, de modo que la presión negativa se extrae del centro del cuerpo cuando la pieza se coloca sobre él y se extiende por toda la superficie porosa. La superficie porosa está diseñada para recibir la presión negativa contra la pieza de trabajo a través del poroso. Cuanto más fino sea el grano del poroso, mayor será la planitud, ya que un grano poroso más grueso provocará irregularidades en la superficie de la pieza.