Qu’est-ce qu’un appareil de mesure de sorption d’hydrogène ?
Un appareil de mesure de sorption d’hydrogène détecte l’hydrogène désorbé de la surface d’un échantillon lorsque celui-ci est chauffé, et fournit des informations sur la quantité d’hydrogène contenue dans l’échantillon et sur le mécanisme d’adsorption/désorption de l’hydrogène.
Il se compose principalement d’une chambre à vide, d’un mécanisme de chauffage de l’échantillon, d’un système d’échappement et d’un spectromètre de masse quadripolaire.
L’un des domaines d’application est celui des dispositifs à semi-conducteurs. Dans ce domaine, l’hydrogène est considéré comme l’impureté la plus difficile à contrôler, et son effet sur les performances des dispositifs a jusqu’à présent été ignoré en raison de la difficulté de détection.
Ces dernières années, cependant, des cas d’instabilité dans le fonctionnement des transistors à couche mince et de dopage involontaire des porteurs ont été signalés, et l’importance de l’impureté hydrogène commence à être reconnue.
La détection de l’hydrogène à haute sensibilité est nécessaire pour améliorer encore la qualité des dispositifs et développer les dispositifs de la prochaine génération, et l’appareil de mesure de sorption d’hydrogène peut répondre à cette demande. L’appareil de mesure de sorption d’hydrogène peut répondre à cette demande. Il présente également des avantages par rapport à d’autres méthodes en termes de faible coût et de simplicité de configuration de l’instrument. Parmi les autres domaines d’application figurent les matériaux avancés en couches minces tels que le graphène.