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真空発生器の製品28点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 耐真空度 | 通信方法 | ユーティリティ | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
MTP-BB3-2 |
要見積もり |
Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェー八6inch MASK |
R軸:330mm (アーム最大到達距離, エンドエフェクタを除く) T軸 : 370° (原点: ±185°) Z軸: 104mm |
X,Y方向: ±0.1mmZ軸: ±0.05mm |
落とし込み |
N/A |
10^-6Pa |
RS232C,RS-485 (シリアル通信) |
電源: 単相AC200V ~ 230V±10% 5A 1系統 |
本体:約76kg コントローラ (MCQ) :約16kg |
