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クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 エッジホールド式 MAF-Sシリーズ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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搬送機器の製品836点中、注目ランキング上位6点
ベース一体型のボール循環型リニアガイドを内蔵 ECエレシリンダー EC-S8M 標準コネクターケーブル
日本ディック株式会社
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MAF-SHKZ |
要見積もり |
Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ |
8.0秒以内 (持ち替え無し時) 20.0秒以内 (持ち替え有り時) |
θ8 :±0.2°以内 (3σ) |
±1mm以内 (ウェーハ中心ズレ量) |
エッジホールド |
フォトマイクロセンサ |
RS-232C (シリアル通信) |
電源:DC24V±10% 3A 1系統ドライエア: Φ6mm 0.35MPa ~ 0.4MP a1系統 |
本体:約8kg |
