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クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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搬送機器の製品891点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MAF-RAPN |
要見積もり |
Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。 |
4.5秒以内 (300mmを処理時) |
XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30) |
5mm以内 (ウェーハ中心ズレ) |
真空吸着 |
デジタル表示付き真空センサー |
RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信) |
電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統 |
本体:約12kg |
搬送機器の中で同じ条件の製品
ワークサイズ: 100 - 200mm
搬送機器をフィルターから探すことができます
使用用途
#重量物 #原料粉粒体等 #小物部品 #基板ウェーハFPC #医療材料 #パレット #ピッチ送り #ロボット連携搬送質量 kg
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 50,000 50,000 - 600,000機長 m
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,700機幅 mm
0 - 200 200 - 500 500 - 800 800 - 1,200 1,200 - 1,600 1,600 - 2,600機高 mm
0 - 200 200 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000 2,000 - 7,000速度 m/min
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400モータ出力 kW
0 - 1 1 - 5 5 - 40搬送面材質
66ナイロン ウレタンゴム エンジニアリングプラスチック スチール ポリアセタール ポリウレタン含浸 ポリプロピレン
