クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徴
・ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理を行ないます。 ・Φ200mm~Φ300mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。 ・ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。 ・コントローラを内蔵したコンパクトなデザインに仕上がっています。 ・RS-232Cもしくは、RS-485によるシリアル通信または、フォトI/Oによるパラレル通信で制御可能です。 ・ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用し、透明ガラス、化合物半導体のアライメントを実現しています。-
シリーズ
クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
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MAF-RAPN |
要見積もり | Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。 | 4.5秒以内 (300mmを処理時) | XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30) | 5mm以内 (ウェーハ中心ズレ) | 真空吸着 | デジタル表示付き真空センサー | RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信) | 電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統 | 本体:約12kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
