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クリーン搬送システム プリアライナー 化合物・ガラス対応 裏面吸着式 MAF-RAシリーズ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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搬送機器の製品836点中、注目ランキング上位6点
ベース一体型のボール循環型リニアガイドを内蔵 ECエレシリンダー EC-S8M 標準コネクターケーブル
日本ディック株式会社
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最新の閲覧: 5時間前
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
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MAF-RAPN |
要見積もり |
Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。 |
4.5秒以内 (300mmを処理時) |
XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30) |
5mm以内 (ウェーハ中心ズレ) |
真空吸着 |
デジタル表示付き真空センサー |
RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信) |
電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統 |
本体:約12kg |
