ウエハ対応レーザ走査イメージャ
株式会社オプセル

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この製品について

顕微鏡でもなくCCDカメラでもない第3の観察装置です。大きな領域をレーザラスター走査の共焦点光学系で高速に画像を取る装置です。色々な対象物 (フィルム、セラミックス、ガラス、サファイヤ、金属表面、黒いゴムなど) の観察が簡単にできて欠陥を検出することが可能です。

■特徴・従来の顕微鏡やCCDカメラやラインセンサーの欠点を克服した新しい観察装置 (照明装置がいらない) 
・広い観察領域 (顕微鏡の100倍以上) と長いWDを持つ新開発専用走査レンズ (6種類) 
・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初めてのラスター走査方式 (長く大きな画像で大面積の画像を取得できるマルチスキャン機能搭載) 
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる初めての装置です

■概略使用・操作分解能が高い (1走査最大20,000ポイントサンプリング) 
・走査スピード4,000ライン/sec以上
・レーザはブルーレイLD405nmを使用 (650、830nmもあり) 

■レーザ走査イメージャの用途・透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出
・セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出
・蒸着膜の剥離などの観察
・小径レンズ、小型金型の非接触形状計測
・大きい範囲の精密3Dデータの取得
・微小な面の反りの精密計測
・大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査
・その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察