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高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ-HISOMET Ⅱ
高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ-ユニオン光学株式会社

高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ
ユニオン光学株式会社

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この製品について

■測定原理

本装置は、顕微鏡の反射照明光学系に、精密焦点合わせ機構としてターゲットマークおよびスプリットプリズムを組み込み、正しい焦点位置では被検面の鮮明な像の中央にターゲット像が左右のズレなく鮮明に見られ、微少に焦点がズレると視野内ターゲット像の上下部分が中央で左右にズレて観察される光学原理を採用しています。

■特徴

・焦点検出が光学式非接触方式なので、被検面に対し接触による変形や打痕等の影響なく測定できます。 ・焦点合わせ方法には、プリサイスフォーカスユニットのスプリット・ターゲット方式を採用し、ターゲット像を合わせるだけで、高精度な段差測定が行えます。 ・取扱いが容易で、現場作業用として最適です。 ・測定点の微小な表面状態を観察しながら、測定基準点と測定点の位置関係を同一視野で確認し測定できます。 ・高倍率の対物レンズに交換することにより、さらに測定精度を向上させる事が可能です。 ・被検面の状態に応じて、黒ヌキターゲットマーク・白ヌキターゲットマークのどちらかの選択ができます。又、写真撮影の場合、ターゲットマークなしの選択が出来る三段切換になっています。 ・目的に応じて、鏡筒・測定ステージ・TV装置等を選択し、各種モデルに設定できます。 ・レーザー方式では、乱反射によってフォーカスエラーになりやすい透明体、鏡面、梨地面等に、ターゲットマークを投影することで、試料の段差を測定することができます。

  • シリーズ

    高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ

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高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 鏡体・ブラケット上下可動範囲 鏡体・ブラケット観察可能最大高さ 鏡体・ブラケット照明光学系落射照明 鏡体・ブラケット照明光学系ターゲットマーク 鏡体・ブラケットフォーカス機構 鏡体・ブラケットZ軸測定測定距離 鏡体・ブラケットZ軸測定値最小表示 鏡体・ブラケットZ軸測定精度 鏡筒正立三眼双眼ヘッド 鏡筒正立三眼接眼レンズ 鏡筒正立三眼TV鏡筒 鏡筒対物つなぎ ステージ送り機構 ステージ測定精度 (送り精度) カウンター3軸カウンター
高精度非接触段差測定機 HISOMET Ⅱ-品番-HISOMET Ⅱ

HISOMET Ⅱ

要見積もり

粗動140mm、微動25mm

150mm (柱高架下は50mm)

ターゲットマーク入りピンホール照明、3W白色スポットLED照明

白抜き・無し・黒抜き三段スライド切替

粗微動共軸遊星歯車方式粗動:5.5mm/回転、微動:0.1mm/回転

10mm・25mmから選択

0.1・0.5・1μmから選択

Range≦1μm (10mmストローク内) 、Range≦2μm (25mmストローク内)

傾斜角30°正立像観察、眼幅調整範囲54~75mm

NWF10× (視野数16) 2本右側接眼レンズに偏心実線クロスレチクル内蔵

CマウントTV観察用

4ケ穴レボルバー (対物レンズ4本まで取付可)

ベアリングハサミ機構によるアクチュエータ方式、リリースレバーによりフリー移動可

XY共: (4+0.02L) μmL:ストローク

最小表示を0.1・0.5・1μmから選択

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ユニオン光学株式会社は、2010年に設立された、精密光学機器、測定機器、検査機器、半導体製造装置などを扱うメーカーです。 設立以来販売する、超高倍率ズームマイクロスコープなどの顕微鏡は、理化学研究所でも使用されるなど、...

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  • 本社所在地: 東京都
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