RJ-CA型 (自然冷媒チラー)
荏原冷熱システム株式会社
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この製品について
■概要
自然冷媒 (CO2) を採用した半導体製造装置向けチラーです。超小型キャンドポンプ内蔵・荏原のインバータ制御技術により省スペース・省エネ化を図れます。±0.1℃の温度制御が可能となりプロセスの安定性向上及び歩留まり向上へ貢献します。 ・自然冷媒 (CO2) 採用 (GWP=1) ・精密温度制御 ・省エネ ・省スペース-
シリーズ
RJ-CA型 (自然冷媒チラー)
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取扱企業
荏原冷熱システム株式会社
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RJ-CA型 (自然冷媒チラー) 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 冷却能力 (50Hz/60Hz) kW | 温度制御範囲 ℃ | 温度制御精度 ℃ | 外形寸法 (WxDxH) mm | 質量 kg | 循環液 使用流体 | 循環液 圧送ポンプ能力 L/min | 冷却水 温度範囲 ℃ | 電源 V | 運転制御方式 | 使用冷媒 | 規格 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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RJ-CA |
要見積もり | 2.0 (-20℃時) 3.8 (-10℃時) | -20~70 | ±0.1 | 370x950x1,100 | 185 (循環液、冷却水含まず) | FC-3283、HT-200他 | 20 (0.25MPa) | 10~25 | 三相 200 | インバータ制御方式 | R744 (CO2GWP:1) | SEMI、CE、UL準拠 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
