振動測定装置速度センササニャック干渉計振動観察装置
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この製品について

■高周波振動分布を可視化今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。無線通信分野ではこのMEMS技術を用いて、高周波領域で使用可能なデバイスの開発が進んでいます。

サニャック干渉計振動観察装置では、GHz帯の高周波用デバイス (圧電薄膜、SAWフィルタ、FBAR等) の振動分布を可視化することができます。

■観察周波数は6GHzまで対応。高周波プロービング応相談。5Gデバイスの振動観察に向けて6GHzまでの振動観察に対応しています。また、高周波プローブの搭載にも対応し、ウェハレベルでのデバイス駆動・振動観察が可能になりました。

一つの装置でSAWフィルタ・BAWフィルタ等、様々なデバイスの振動分布の解析に活用できます。

■レーザ走査による高速データ収集データ収集はプローブレーザが移動することによる走査方式を採用しています。X軸方向のデータ収集間隔を最小0.1µmに設定してもデータ収集速度は変わりません。Y軸方向のデータ収集間隔も最小0.1µmに設定可能です。

■多彩な機能を盛り込んだ専用観察ソフトウェア本装置専用に製作された専用観察ソフトウェアは顕微鏡操作上に必要となる基本制御機能はもちろん、試料傾き補正や焦点補正機能など多用な機能が盛り込まれています。試料上の弾性波を駆動するための信号発生器やロックインアンプの感度設定などもソフトウェア上で操作可能です。

異なる駆動周波数のそれぞれのデータを連続で測定するための周波数テーブル設定機能も実装されています。

■フォーカス補正機能 (Auto Focus) 長時間のデータ収集における温度変化等での焦点ずれに対し、任意のY方向ライン数のデータ収集ごとにフォーカス補正を行う機能を搭載。

あらかじめ観察範囲の四方とフォーカス補正用ポイントのXYZ座標を設定します。そしてデータ収集時にはフォーカス補正用ポイントでの焦点ずれ量を検出し、その焦点ずれ量を加算することで焦点方向の補正を行います。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
振動測定装置速度センササニャック干渉計振動観察装置

取扱企業
ネオアーク株式会社

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振動測定装置速度センササニャック干渉計振動観察装置品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	対応サンプル SMAコネクタ付きデバイスウェハ (最大8インチ)	観察周波数 500MHz~3GHz (タイプA) 3GHz~6GHz (タイプB) 500MHz~3GHz	振動検出方法	観察方法	光源・観察軸	付属対物レンズ倍率	マッピング (電動制御)	フォーカス (電動制御)	データ記録形式	装置構成本体 (光学系・ステージ) レーザ電源ステージドライバ周波数変換ユニットロックインアンプ信号発生器 (2ch) PC、ディスプレイ観察ソフトウェア本体 (光学系・ステージ) レーザ電源内蔵ステージドライバ内蔵周波数変換ユニット内蔵ロックインアンプ内臓信号発生器 (2ch) ノート型PC 観察ソフトウェア	ユーティリティ	本体外寸 (重量) 600 (W) ×600 (D) ×1350 (H) mm (約270kg) 300 (W) ×450 (D) ×450 (H) mm (約30kg)	ラック外寸 (重量) 600 (W) ×630 (D) ×1,600 (H) mm (約40kg) ラック不要 (机上周辺に外部機器設置)
MLD-101C	要見積もり	SMAコネクタ付きデバイス	500MHz~3GHz (タイプA) 3GHz~6GHz (タイプB)	サニャック干渉計による振幅・位相検出	ステージ制御によるレーザ照射位置走査観察	半導体レーザ (観察軸: 面外方向 *面外振動検出)	×100 (W.D.12mm、スポット径1μm typ.) 、 ×50 (W.D. 3.4mm、スポット径5μm typ.) *×5 (観察位置確認用)	マッピング位置分解能: 0.1µm、最大マッピング (観察) 範囲: 25×25mm	フォーカス位置分解能: 0.2μm、フォーカスレンジ: ±15mm	画像：JPEG、動画：AVI、振幅・位相情報：CSV	本体 (光学系・ステージ) レーザ電源ステージドライバ周波数変換ユニットロックインアンプ信号発生器 (2ch) PC、ディスプレイ観察ソフトウェア	AC100V、消費電力 1.7kVA以下	600 (W) ×600 (D) ×1350 (H) mm (約270kg)	600 (W) ×630 (D) ×1,600 (H) mm (約40kg)
MLD-101P	要見積もり	ウェハ (最大8インチ)	500MHz~3GHz (タイプA) 3GHz~6GHz (タイプB)	サニャック干渉計による振幅・位相検出	ステージ制御によるレーザ照射位置走査観察	半導体レーザ (観察軸: 面外方向 *面外振動検出)	×100 (W.D.12mm、スポット径1μm typ.) 、 ×50 (W.D. 3.4mm、スポット径5μm typ.) *×5 (観察位置確認用)	マッピング位置分解能: 0.1µm、最大マッピング (観察) 範囲: 25×25mm	フォーカス位置分解能: 0.2μm、フォーカスレンジ: ±15mm	画像：JPEG、動画：AVI、振幅・位相情報：CSV	本体 (光学系・ステージ) レーザ電源ステージドライバ周波数変換ユニットロックインアンプ信号発生器 (2ch) PC、ディスプレイ観察ソフトウェア	AC100V、消費電力 1.7kVA以下	600 (W) ×600 (D) ×1350 (H) mm (約270kg)	600 (W) ×630 (D) ×1,600 (H) mm (約40kg)
MLD-103	要見積もり	SMAコネクタ付きデバイス	500MHz~3GHz	サニャック干渉計による振幅・位相検出	ステージ制御によるレーザ照射位置走査観察	半導体レーザ (観察軸: 面外方向 *面外振動検出)	×100 (W.D.12mm、スポット径1μm typ.) 、 ×50 (W.D. 3.4mm、スポット径5μm typ.) *×5 (観察位置確認用)	マッピング位置分解能: 0.1µm、最大マッピング (観察) 範囲: 25×25mm	フォーカス位置分解能: 0.2μm、フォーカスレンジ: ±15mm	画像：JPEG、動画：AVI、振幅・位相情報：CSV	本体 (光学系・ステージ) レーザ電源内蔵ステージドライバ内蔵周波数変換ユニット内蔵ロックインアンプ内臓信号発生器 (2ch) ノート型PC 観察ソフトウェア	AC100V、消費電力 1.7kVA以下	300 (W) ×450 (D) ×450 (H) mm (約30kg)	ラック不要 (机上周辺に外部機器設置)