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手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAHシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
4.5
評判がとても良い
2025年8月7日にレビュー
フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。
初回返答までの時間・1.11時間2025年7月28日にレビュー
返信までのタイムラグがありましたが，返信内容は丁寧でした。
初回返答までの時間・69.57時間| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 呼び口径 A (B) | 本体材質 | ガスケット材質 | ベーキング許容温度 (℃) | 使用圧力範囲 (Pa) | リーク量 (Pa·m3/s) | 許容周囲温度 (℃) | 作動形式 | 開閉信号出力 | 逆圧 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VAH |
要見積もり |
100A (4B) ~150A (6B) |
アルミニウム合金 (内部部品：軟鋼、ニッケルメッキ) |
フッ素ゴム |
<60 |
10^5~10^-5 |
<7.0×10^-9 |
5~40 |
手動 |
取付け不可 |
標準で逆圧対応 |
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真空ゲートバルブをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送駆動方式
手動型 空圧型 電動型構造形式
スロット型 ラウンド型シール方式
メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型呼び口径 mm
100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400ベーキング許容温度 ℃
0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200バルブ寿命 回
0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000使用温度 ℃
-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150開放コンダクタンス L/s
0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000
