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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ-DCS0052B
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ
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■概要

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。また、異常放電防止ユニット (A2K) との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。

■用途

Al, Ni等の金属のスパッタリング用、バイアス用のDC電源として使用できます。

■特長

・出力制御性の向上 (定格の1〜100%での運転可能) ・タップ切替えなしで広範囲な出力範囲 ・2種類の異常放電検出機能を標準搭載 ・アイソレーションによる外来ノイズ対策 (オプション) ・3つの運転モード (定電力・定電流・定電圧制御) が選択可能 ・+100Vまでフローティング可能

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ

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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 最大出力電力 出力範囲 電力 出力範囲 電圧 出力範囲 電流 外形寸法 (WDH) mm 質量
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ-品番-DCS0052B

DCS0052B

要見積もり

500W

5W~500W

80V~800V

0.0012A~1.25A

240 x 450 x 99

9kg

フィルターに該当する他製品

直流電源の中で同じ条件の製品
出力電流: -100A

フィルターから探す

直流電源をフィルターから探すことができます

出力電圧 V

-25 - 0 0 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 25,000

出力電流 A

-800 - -100 -100 - 0 0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 800

入力電圧 V

10 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 450

リップルノイズ mV

0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 600

効率 %

70 - 75 75 - 85 85 - 90 90 - 95

使用温度範囲 ℃

-30 - -10 -10 - 0 0 - 40 40 - 50 50 - 85

負荷変動 mV

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 200 200 - 500 500 - 1,700

冷却方式

強制空冷 自然冷却

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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