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■概要

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。また、異常放電防止ユニット (A2K) との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。

■用途

Al, Ni等の金属のスパッタリング用、バイアス用のDC電源として使用できます。

■特長

・出力制御性の向上 (定格の1〜100％での運転可能) ・タップ切替えなしで広範囲な出力範囲 ・2種類の異常放電検出機能を標準搭載 ・アイソレーションによる外来ノイズ対策 (オプション) ・3つの運転モード (定電力・定電流・定電圧制御) が選択可能 ・+100Vまでフローティング可能

  • シリーズ

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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ-品番-DCS0052B

DCS0052B

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500W

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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