各種電源・ロボット関連成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4-DC-2

DC-4
アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

125.8時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要DC-2およびDC-4は、2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。

■用途・R&D向けスパッタリング装置
・各種成膜装置のバイアス電源

特長
■高い制御精度10%以下の低パワー領域でも設定値の±1%の高精度出力

■広い精度保証1～100%の広いパワー精度保証

■軽量・省スペース設置性に優れた軽量・省スペース設計。

■冷却水不要強制空冷方式のため冷却水が不要。

■高信頼性装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

電源

直流電源

この商品に関する問題を報告する

30人以上が見ています

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

各種電源・ロボット関連成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	入力電圧	変動範囲	相数、周波数	入力容量	最大定格電力	定格電流	定格電圧	出力極性	異常放電制御	制御方式	制御精度	制御保証範囲	外部制御	冷却方式	外形寸法 (W×D×H)	質量	適合規格	動作周囲温度	動作環境
	DC-2	要見積もり	AC208V/220V	AC180~242V	3相 50/60Hz	3.5kVA	2kW	5A	800V	マイナス極性	共振による遮断または、インバーター遮断	定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)	設定値の±1% (弊社規定抵抗値にて)	定格電力値の10~100%	アナログ／デジタル、RS-232CまたはRS-485	強制空冷	241mm×610mm×133mm (突起物含まず)	15kg	CE/SEMI F47/RoHS指令	5℃~40℃ (結露なき事)	直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと