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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4-DC-2
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4
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この製品について

■概要

DC-2およびDC-4は、2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。

■用途

・R&D向けスパッタリング装置 ・各種成膜装置のバイアス電源 特長

■高い制御精度

10%以下の低パワー領域でも設定値の±1%の高精度出力

■広い精度保証

1~100%の広いパワー精度保証

■軽量・省スペース

設置性に優れた軽量・省スペース設計。

■冷却水不要

強制空冷方式のため冷却水が不要。

■高信頼性

装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4

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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 入力電圧 変動範囲 相数、周波数 入力容量 最大定格電力 定格電流 定格電圧 出力極性 異常放電制御 制御方式 制御精度 制御保証範囲 外部制御 冷却方式 外形寸法 (W×D×H) 質量 適合規格 動作周囲温度 動作環境
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4-品番-DC-2

DC-2

要見積もり

AC208V/220V

AC180~242V

3相 50/60Hz

3.5kVA

2kW

5A

800V

マイナス極性

共振による遮断または、インバーター遮断

定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)

設定値の±1% (弊社規定抵抗値にて)

定格電力値の10~100%

アナログ/デジタル、RS-232CまたはRS-485

強制空冷

241mm×610mm×133mm (突起物含まず)

15kg

CE/SEMI F47/RoHS指令

5℃~40℃ (結露なき事)

直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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