各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
DC-2およびDC-4は、2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。■用途
・R&D向けスパッタリング装置 ・各種成膜装置のバイアス電源 特長■高い制御精度
10%以下の低パワー領域でも設定値の±1%の高精度出力■広い精度保証
1～100%の広いパワー精度保証■軽量・省スペース
設置性に優れた軽量・省スペース設計。■冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要。■高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック-
シリーズ
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC電源 DC-2/DC-4 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 入力電圧 | 変動範囲 | 相数、周波数 | 入力容量 | 最大定格電力 | 定格電流 | 定格電圧 | 出力極性 | 異常放電制御 | 制御方式 | 制御精度 | 制御保証範囲 | 外部制御 | 冷却方式 | 外形寸法 (W×D×H) | 質量 | 適合規格 | 動作周囲温度 | 動作環境 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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DC-2 |
要見積もり | AC208V/220V | AC180~242V | 3相 50/60Hz | 3.5kVA | 2kW | 5A | 800V | マイナス極性 | 共振による遮断または、インバーター遮断 | 定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御) | 設定値の±1% (弊社規定抵抗値にて) | 定格電力値の10~100% | アナログ／デジタル、RS-232CまたはRS-485 | 強制空冷 | 241mm×610mm×133mm (突起物含まず) | 15kg | CE/SEMI F47/RoHS指令 | 5℃~40℃ (結露なき事) | 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
