各種電源・ロボット関連成膜用電源/EBガン DC電源 DC-10/DC-20-DC-10

DC-20
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この製品について

■概要DC-10及びDC-20は、10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。

■用途・FPD用スパッタリング装置
・半導体用スパッタリング装置
・タッチパネル用スパッタリング装置
・産業コーティング用スパッタリング装置

特長
■軽量・省スペース設置性に優れた軽量・省スペース設計。

■出力電圧範囲が選択可能800V仕様に加えて1,000V仕様もラインアップ。

■豊富なアークハンドリングプラズマを熟知した豊富なアーク制御方式。

■冷却水不要強制空冷方式のため冷却水が不要。

■高速アーク遮断回路を搭載可能標準でも低アークエネルギーを実現。さらにオプションで高速アーク遮断回路を搭載可能。

■自由な並列運転機能を搭載可能DC-10、DC-20：オプションの並列運転機能により自由に10kWと20kWを組み合わせて最大12台までの並列運転が可能。 (最大240kW) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連成膜用電源/EBガン DC電源 DC-10/DC-20

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

電源

直流電源

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各種電源・ロボット関連成膜用電源/EBガン DC電源 DC-10/DC-20 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	入力電圧	変動範囲	相数、周波数	入力接続部	入力容量	最大定格電力	定格電流	定格電圧	出力極性	異常放電制御	出力接続部	制御方式	制御精度	制御保証範囲	並列運転	冷却方式	外形寸法 (W×D×H)	質量	適合規格	動作周囲温度	動作環境
	DC-10	要見積もり	AC208V	AC187~229V	3相 50/60Hz	コネクタ接続	13.5kVA以下	10kW	25A	800V	マイナス極性	異常放電検出時にインバータ停止もしくは高速アーク遮断回路により遮断	コネクタ接続	定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)	定格出力の±1%以下	定電力制御定格電力値の10~100%	マスター/スレーブにより最大12台まで制御可能	強制空冷	483mm×630mm×133mm (突起物含まず)	28kg	CEおよびSEMI F47	10℃~40℃ (結露なき事)	直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと