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シリーズ
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 仕様 | 適応マルチイオンゲージセンサ | 接続可能センサ | 繰返精度 (N2) | サンプリング時間 | 測定値出力 | 更新時間 | 制御入力信号 | 制御出力信号 | LED表示 | エミッション電流 | DEGAS | センサ耐圧 | センサ内容積 | 使用温度範囲 | 使用湿度範囲 | 保管温度 | IP保護等級 | 電源電圧 | 入出力コネクタ | 質量 | 外形寸法 W×D×H | 適合規格 | オプション マルチイオンゲージセンサ | オプション マルチイオンゲージセンサ その他 | オプション ピラニゲージ | オプション ピラニゲージセンサ | オプション ピラニゲージセンサ 材質 | オプション 大気圧センサ | オプション ユニットケーブル |
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SH200-A |
要見積もり | 標準仕様 | M-44 (NW16) , M-45 (NW25) , M-46 (ICF070) |
マルチイオンゲージセンサ:1本 ピラニゲージSWU10-R:1本 (オプション) 大気圧センサSAU:1本 (オプション) |
SH200単体モード:±2% | 60ms 5回の移動平均処理 |
出力電圧:DC 0~10V LOG出力:0.75V/1桁 圧力換算式:V=7.25+0.75× (LogP-2) P=10^{ (V-7.25) /0.75+2} |
60msec |
FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 ※FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる |
センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視 定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V |
POWER/ERROR:パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化) SET1:セットポイント1LED SET2:セットポイント2LED SET3:セットポイント3LED |
1mA (1×10^-3Pa以下) , 10μA (1×10^-3Pa以上) | 電子衝撃脱離方式 (エレクトロンボンバード) 1mA、330V | 2×10^+5Pa (絶対圧) ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要 | 17cm3 (M-44) , 19cm3 (M-45) , 17cm3 (M-46) | 10~50℃ | 15~80% (ただし、結露なきこと) | -20~65℃ (非通電時、結露なきこと) | IP30 | DC20~28V (リップル、ノイズ1%以下) , 8W以下 | D-sub15ピン (M2.6ネジ) |
コントローラ:約280g 測定子 (M-44, M-45) :80g, (M-46) :300g |
69mm×63mm×90mm (コントローラ部) | CE |
M-44 (NW16) , M-45 (NW25) , M-46 (ICF070) 材質:フィラメント:Ir/Y2O3コート |
PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ | SWU10-R ※従来品SPUも対応 | SWP-16 (NW16) , SWP-25 (NW25) , SWP-R1/8 (R1/8) , SWP-P18 (Φ18 pipe end) , SWP-P15 (Φ15 pipe end) | フィラメント-Pt, その他-BS/Ni, メッキ, Ni, 半田 |
SAU (NW16) 材質:SUS316L |
GUC-200P (SWU用) :0.5m, 1m, 2m GUC-200A (SAU用) :0.5m, 1m, 2m |