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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E-SH200-A
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E-アルバック販売株式会社

分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E
アルバック販売株式会社

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■概要

異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。B-A型電離真空計である本製品は、超高真空の測定が可能です。従来の、広範囲の圧力測定、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。

■用途

・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に ・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に ・高真空・超高真空装置の圧力測定に

■特長

・異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能 ・コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成 (コントローラ容積56%削減) 、世界最小クラス ・ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能 ・ラインアップの充実:アナログ出力仕様 (SH200-A) 、シリアル通信仕様 (SH200-R) に加え、EtherCAT仕様 (SH200-E) を追加予定 ・フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能 ・広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域 (1×10^+5~5×10^-8Pa) の測定が可能 (オプションユニットSWU10-R接続時) ・正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能 (オプションユニットSAU接続時)

  • シリーズ

    分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E

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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 仕様 適応マルチイオンゲージセンサ 接続可能センサ 繰返精度 (N2) サンプリング時間 測定値出力 更新時間 制御入力信号 制御出力信号 LED表示 エミッション電流 DEGAS センサ耐圧 センサ内容積 使用温度範囲 使用湿度範囲 保管温度 IP保護等級 電源電圧 入出力コネクタ 質量 外形寸法 W×D×H 適合規格 オプション マルチイオンゲージセンサ オプション マルチイオンゲージセンサ その他 オプション ピラニゲージ オプション ピラニゲージセンサ オプション ピラニゲージセンサ 材質 オプション 大気圧センサ オプション ユニットケーブル
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 SH200シリーズ SH200-A/R/E-品番-SH200-A

SH200-A

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標準仕様

M-44 (NW16) , M-45 (NW25) , M-46 (ICF070)

マルチイオンゲージセンサ:1本
ピラニゲージSWU10-R:1本 (オプション)
大気圧センサSAU:1本 (オプション)

SH200単体モード:±2%

60ms 5回の移動平均処理

出力電圧:DC 0~10V
LOG出力:0.75V/1桁
圧力換算式:V=7.25+0.75× (LogP-2) P=10^{ (V-7.25) /0.75+2}

60msec

FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
オープンコレクタ入力で動作、負論理
※FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる

センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V

POWER/ERROR:パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
SET1:セットポイント1LED
SET2:セットポイント2LED
SET3:セットポイント3LED

1mA (1×10^-3Pa以下) , 10μA (1×10^-3Pa以上)

電子衝撃脱離方式 (エレクトロンボンバード) 1mA、330V

2×10^+5Pa (絶対圧) ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要

17cm3 (M-44) , 19cm3 (M-45) , 17cm3 (M-46)

10~50℃

15~80% (ただし、結露なきこと)

-20~65℃ (非通電時、結露なきこと)

IP30

DC20~28V (リップル、ノイズ1%以下) , 8W以下

D-sub15ピン (M2.6ネジ)

コントローラ:約280g
測定子 (M-44, M-45) :80g, (M-46) :300g

69mm×63mm×90mm (コントローラ部)

CE

M-44 (NW16) , M-45 (NW25) , M-46 (ICF070)
材質:フィラメント:Ir/Y2O3コート

PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ

SWU10-R ※従来品SPUも対応

SWP-16 (NW16) , SWP-25 (NW25) , SWP-R1/8 (R1/8) , SWP-P18 (Φ18 pipe end) , SWP-P15 (Φ15 pipe end)

フィラメント-Pt, その他-BS/Ni, メッキ, Ni, 半田

SAU (NW16)
材質:SUS316L

GUC-200P (SWU用) :0.5m, 1m, 2m
GUC-200A (SAU用) :0.5m, 1m, 2m

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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